Fiche technique E550

PORTOIR
Diamètre wafer ≤200mm
Vitesse de rotation 15-150 rpm
Pression arrière 0-100 kPa
Force de polissage 0-3000 N (14 psi on 8‘’)
Déplacement horizontal amplitude ajustable
PLATEAU DE CHARGEMENT PRINCIPAL
Diamètre 550 mm
Vitesse de rotation 15-150 rpm
Température 10-60°C
PLATEAU SECONDAIRE
Diamètre 350 mm
Vitesse de rotation 20-200 rpm
CONDITIONNEUR
Force 10-300 N
Diamètre 100 mm, 238 mm
Vitesse de rotation 10-70 rpm
CONDITIONNEUR FINAL
Brosse linéaire 22×100 mm
FACILITIES
Tension 220V-380V, 3-phases, 50-60Hz
Air comprimé 6-7 bars
Moteur de tête 0,75 kW
Moteur plateau 2,2 kW
Moteur conditionneur 0,37 kW
CONSOMMATION
Eau-DI 200 litre/h
Air comprimé 220 litre/min
Electricité 5 kW
Vide d’air Pompe interne
DIMENSIONS
Largeur 2155 mm
Profondeur 1660 mm
Hauteur 2055 mm

Ces caractéristiques peuvent être modifiées en fonction de l’évolution de l’équipement

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