MACHINES CMP

  E400E E460 E550 Pcox 200s Pcox 202-203-204
Type de production Unitaire Prototypage et petites séries Production en série Prototypage et petites séries Production en série (jusqu’à 82 wafers / heure)
Diamètre wafer maxi. 4 pouces

(possibilité de forme non circulaire)

8 pouces (possibilité de forme non circulaire) 8 pouces 8 pouces 8 pouces
Chargement / déchargement Manuel Manuel

Option : chargement assisté 1 palette mono-position

Chargement automatique 2 palettes Chargement assisté 2 palettes Robot de chargement automatique multi-palettes + palette de déchargement pour chaque module
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