Fiche Technique Pcox 200s

Portoir
Diamètre wafer <= 200 mm
Vitesse de rotation 15 – 150 rpm
Pression face arrière 0 – 100 kPa
Force d’appui 0 – 3000 N
Amplitude de balayage 0 – maximum
Vitesse de balayage 0 – 0.35 m/s
Travail sur les 2 secteurs du pad
Plateau
Diamètre 550 mm
Vitesse de rotation 15 – 150 rpm
Température 10 – 60°C
Abrasif 0 – 250 ml/min
Conditionneur
Type d’outil brosse, disque, ring diamantés
Diamètre d’outil 100 – 225 mm
Force 20 – 300 N
Vitesse de rotation 10 – 70 rpm
Vitesse de balayage 0 – 0.9 m/s
End point
Module préparé pour s’interfacer avec un système de détection de fin d’attaque système DFA2 de Alpsitec ou autre système.
Puissances
Moteur tête 0.75 kW
Moteur plateau 2.20 kW
Moteur conditionnement 0.37 kW
Facilities
Tension 220V Tri ou 400V tri
Air comprimé 6 bars
Azote 2 bars
Eau DI 1 bar
Consommation
Électricité 1 – 2 KWH
Eau DI 100 L/heure
Vide pompe intégrée
Dimensions
Largeur 950 mm
Profondeur 1190 mm
Hauteur 2480 mm
Poids 1000 kg
Dimension wafer 4’’ à 200 mm
Kits d’adaptation 4″, 5″, 6″
Option module de chargement automatique 1 cassette

Ces caractéristiques peuvent être modifiées en fonction de l’évolution de l’équipement

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