Production en série
Pour le polissage et la planarisation de wafer sur des productions en série, ALPSITEC a développé des machines CMP fortement automatisées (chargement multi-plateaux, transfert, pilotage…), de haute précision et faciles à mettre en oeuvre.
Machines CMP Pcox 202-203-204
- Technologies avancées (gamme Pcox)
- Module de chargement automatique (robot industriel 6 axes)
- Possibilité de fonctionnement en continu
- Module de transfert
- Module de polissage
- Forte évolutivité
- Haute productivité
- Haute flexibilité
En savoir plus sur les machines Pcox 202-203-204
Pcox 202
Machine CMP E550
- Machine à chargement automatique 2 palettes
- 2 plateaux de polissage
- Peut traiter des wafers de 2 à 8''
- Peut accueillir des wafers humides en entrée de machine
En savoir plus sur la machine CMP E550
E550
