Production en série

Pour le polissage et la planarisation de wafer sur des productions en série, ALPSITEC a développé des machines CMP fortement automatisées (chargement multi-plateaux, transfert, pilotage…), de haute précision et faciles à mettre en oeuvre.

 

 

 

Machines CMP Pcox 202-203-204

  • Technologies avancées (gamme Pcox)
  • Module de chargement automatique (robot industriel 6 axes)
  • Possibilité de fonctionnement en continu
  • Module de transfert
  • Module de polissage
  • Forte évolutivité
  • Haute productivité
  • Haute flexibilité

En savoir plus sur les machines Pcox 202-203-204

 

Pcox 202

Pcox 202

Machine CMP E550

  • Machine à chargement automatique 2 palettes
  • 2 plateaux de polissage
  • Peut traiter des wafers de 2 à 8''
  • Peut accueillir des wafers humides en entrée de machine

En savoir plus sur la machine CMP E550

 

E550

E550

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