Fiche Technique Pcox 200s
| Portoir | |
|---|---|
| Diamètre wafer | <= 200 mm |
| Vitesse de rotation | 15 – 150 rpm |
| Pression face arrière | 0 – 100 kPa |
| Force d’appui | 0 – 3000 N |
| Amplitude de balayage | 0 – maximum |
| Vitesse de balayage | 0 – 0.35 m/s |
| Travail sur les 2 secteurs du pad | |
| Plateau | |
| Diamètre | 550 mm |
| Vitesse de rotation | 15 – 150 rpm |
| Température | 10 – 60°C |
| Abrasif | 0 – 250 ml/min |
| Conditionneur | |
| Type d’outil | brosse, disque, ring diamantés |
| Diamètre d’outil | 100 – 225 mm |
| Force | 20 – 300 N |
| Vitesse de rotation | 10 – 70 rpm |
| Vitesse de balayage | 0 – 0.9 m/s |
| End point | |
| Module préparé pour s’interfacer avec un système de détection de fin d’attaque | système DFA2 de Alpsitec ou autre système. |
| Puissances | |
| Moteur tête | 0.75 kW |
| Moteur plateau | 2.20 kW |
| Moteur conditionnement | 0.37 kW |
| Facilities | |
| Tension | 220V Tri ou 400V tri |
| Air comprimé | 6 bars |
| Azote | 2 bars |
| Eau DI | 1 bar |
| Consommation | |
| Électricité | 1 – 2 KWH |
| Eau DI | 100 L/heure |
| Vide | pompe intégrée |
| Dimensions | |
| Largeur | 950 mm |
| Profondeur | 1190 mm |
| Hauteur | 2480 mm |
| Poids | 1000 kg |
| Dimension wafer | 4’’ à 200 mm |
| Kits d’adaptation | 4″, 5″, 6″ |
| Option | module de chargement automatique 1 cassette |
Ces caractéristiques peuvent être modifiées en fonction de l’évolution de l’équipement
