MACHINES CMP
| E400E | E460 | E550 | Pcox 200s | Pcox 202-203-204 | |
| Type de production | Unitaire | Prototypage et petites séries | Production en série | Prototypage et petites séries | Production en série (jusqu’à 82 wafers / heure) |
| Diamètre wafer maxi. | 4 pouces
(possibilité de forme non circulaire) |
8 pouces (possibilité de forme non circulaire) | 8 pouces | 8 pouces | 8 pouces |
| Chargement / déchargement | Manuel | Manuel
Option : chargement assisté 1 palette mono-position |
Chargement automatique 2 palettes | Chargement assisté 2 palettes | Robot de chargement automatique multi-palettes + palette de déchargement pour chaque module |
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