Polisseuse chargement assisté Pcox 200s
Avantages
- Prix
- Compacité, simplicité, robustesse
- Transfert immédiat des procédés développés sur la Pcox 200 S aux machines de production Pcox 20x
- Évolution possible et facile d’un module Pcox 200 S vers une machine Pcox 20x, augmentant la durée de vie sans obsolescence.
Utilisation
La gamme Pcox 20X présente une série de machines modulaires offrant des équipements composées de 2, 3 ou 4 modules de polissage.
La Pcox 200 S est l’un de ces modules utilisé de façon autonome.
Elle offre toutes les caractéristiques de la machine de production :
- Contrôle complet par informatique
- Chargement et déchargement automatique de la tête de polissage
- Dix steps de polissage entièrement paramétrables avec possibilité d’avivage intermédiaire
- En standard 200 mm
- Compatibilité 4″ à 8″
- Conditionnement ex-situ et in-situ
- Pompe de slurry intégrée
- Échange rapide des plateaux, des portoirs de polissage et des outils de conditionnement.
Sa structure lui permet d’offrir les mêmes caractéristiques de productivité qu’un module inclus dans une machine Pcox20x malgré un chargement manuel des wafers pour limiter l’encombrement et l’investissement.
Une option spécifique lui permet de faire du chargement et déchargement automatique depuis une cassette immergée.
